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[资料共享] FEI865 dual beam设备图片以及配置信息

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发表于 2020-10-27 09:56:55 | 显示全部楼层 |阅读模式
本帖最后由 gyn 于 2020-10-27 10:03 编辑


FEI865双光束配置:
1.年份:2002年
2.序列号:201275-11
3.肖特基FEG扫描电镜
4.200V~30KV加速电压
5.E柱冷却器
6.磁离子束柱
7.30KV加速电压
8.铣削电流1pA至20nA
9.试样台:200mm 5轴机动的向心倾斜台
负荷锁200mm,手柄对夹片最大200mm全对夹
200毫米晶圆夹持器
10.探测器:镜头内SEC+BSE(电子束)
埃弗哈德-桑利闪烁探测器
离子束
11.用户界面:带Windows NT操作系统的PC机
12.显微镜软件:XP版本
13.地学信息系统:注气系统
1) 金属沉积-铂
2) 电气工程师协会–XeF2
3) I-Dep-正硅酸乙酯
14.真空系统:柱用离子泵
舱用涡轮泵
干粗轧泵
FEI865dual beam Configuration:
1.Vintage:2002
2.S/N:201275-11
3.Schottky FEG SEM
4.200V~30KV Accelerating Voltage
5.Chiller for E-column
6.Magnum ion beam column
7.30KV Accelerating Voltage
8.Milling current 1pA to 20nA
9.Specimen Stage: 200mm 5 axis motorizedeucentric tilt stage
Loadlock 200mm,handle wafer piece up to 200mmfull wafer
200mm wafer holder
10.Detector: In-lens SEC+BSE(Electron Beam)
Everhard-Thornley Scintillator Detecor
CDEM(Ion Beam)   
11.User Interface: PC with Windows NTOperating System
12.Microscope software: XP version
13.GIS: Gas Injection System
1)Metal Deposition- PT
2)IEE – XeF2
3)I-Dep -TEOS
14.Vacuum System: Ion pumps for column
Turbo pumps for chamber
Dry roughing pump


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