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[资料共享] Aviza/Spts刻蚀机的图片以及配置信息

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发表于 2020-10-26 09:45:06 | 显示全部楼层 |阅读模式


Aviza/SPTSOmega ICP刻蚀机配置:
1.配置为8寸晶圆
2.晶圆自动处理
3.Cl2基刻蚀工艺
4.3个工艺模块
5.SPTS原厂装配品工程师检查
6.缺少1个Mag7机器人
7.缺少1个可变周期发动机 B控制器
8.缺少1x 24V直流电源
Aviza/SPTSOmega ICP etcher Configuration:
1.Configuredfor 8'' wafer
2.automaticwafer handling
3.Cl2based etching process
4.3process modules
5.Inspectedby SPTS OEM engineer
6.Missing1x Mag7 robot
7.Missing1x VCE B controller
8.Missing1x 24V DC Power supply


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发表于 2020-11-3 10:32:11 | 显示全部楼层
我有一台二手的,有需要联系。
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 楼主| 发表于 昨天 09:36 | 显示全部楼层
好的,有需要我会联系您。
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