请选择 进入手机版 | 继续访问电脑版

中国半导体论坛

 找回密码
 立即注册
搜索
热搜: 活动 交友 discuz
奋芯电子
芯满微
广告
广告
广告
广告
广告
广告
查看: 92|回复: 0

[资料共享] 蒸发溅射台Evaporator sputterECLIPSE1半导体设备图片以及配置信息

[复制链接]

5

主题

7

帖子

5

积分

技术员

Rank: 2

积分
5
发表于 2020-10-22 09:44:25 | 显示全部楼层 |阅读模式

Eclipse 1配置信息:
1.串行编号:18625
2.软眉版本:N/A
3.晶圆尺寸:125mm
4.C压缩机:CTI8510
5.控制器输入电压:208V/100A
6.腔室:MFC
7.权力供应:AE/Delta主人
8.射频发电机:型号ACG-10B
9.直流电源AE/Delta从机
10.真空泵
ECLIPSE1 configuration information:
  1. Serial number:18625
  2. Softwre Version:N/A
  3. Wafer Size:125mm
  4. Compressor:CTI8510
  5. Controller Input voltages:208V/100A
  6. Chamber: MFC
  7. Power Supply:AE/Delta Master
  8. RF Generator:MODEL-ACG-10B
  9. DC power-AE/Delta Slave
  10.Vacuum Pump

回复

使用道具 举报

您需要登录后才可以回帖 登录 | 立即注册

本版积分规则

Archiver|手机版|小黑屋|中国半导体论坛 ( 苏ICP备10008526号 )

GMT+8, 2020-11-25 12:56 , Processed in 0.071112 second(s), 22 queries .

Powered by Discuz! X3.4 Licensed

Copyright © 2001-2020, Tencent Cloud.

快速回复 返回顶部 返回列表