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[资料共享] 新P5000CVD半导体设备图片以及配置信息

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发表于 2020-10-19 10:15:42 | 显示全部楼层 |阅读模式
P5000配置:
1.主体2室
2.控制架
3.带3 ENI OEM-12B发电机的射频机架
4.ATMIUniChem 3200 TEOS
5.2x AMAT换热器
6.1台Neslab HX-150换热器
7.物价指数
8.带控制器的涡轮泵
9.电缆
P5000 configuration information:                                                   
1.Main body with 2 chambers
2.Control rack
3.RF rack with 3 ENI OEM-12B generator
4.ATMI UniChem 3200 TEOS cabinet
5.2x AMAT heat exchangers
6.1x Neslab HX-150 Heat exchanger
7.PLIS
8.Turbo pump with controller
9.cables

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