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[转帖] MEMS简单概念

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发表于 2019-12-3 14:26:20 | 显示全部楼层 |阅读模式
本帖最后由 九都 于 2019-12-3 14:28 编辑

微机电系统(MEMS)不仅是一个微小型系统,同时它还是一种新的概念,一门新兴的科学和技术。微小型系统是指的是它的尺度减小,然而有的功能相比宏观系统非但没有减弱,反而更高,如微加速度计、微压力传感器,它带来的好处是体积小、重量轻、功耗低、可靠性高、价格便宜等;新概念指的是:MEMS如同微电子技术的孪生兄弟,如果说微电子处理的仅仅是电信号,MEMS处理的对象更为广泛,它作为传感器,可以感应外界状态量(运动、磁、温度、力、压强、光、电、化学等),作为执行器,它可以去改变外界的状态量;新的科学与技术,指的是由于尺度的减小,造成的一些现象与宏观领域存在很大的不同,这称为尺度效应(scale effects),如由于尺度的减小,是的微观系统中表面力变得更为显著,这是一个需要研究的科学问题,同时MEMS还应用了大量的新技术,如:新的加工工艺(体微加工、LiGA、深度反应离子刻蚀、新型键合技术等)。
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发表于 2019-12-3 14:26:40 | 显示全部楼层
想起有关费曼的一个故事,费曼设想用机器人去制造更小的机器人,然后用小的机器人去制备更小的机器人......,貌似就这样慢慢有了MEMS这个概念。不知道费曼的这个最初的设想哪天能够实现。
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发表于 2020-5-14 13:07:00 | 显示全部楼层
1,SPM3#液,去污及部分金属
2,APM1#液去表面颗粒及金属杂质
3,HPM2#液去金属粒子
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