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[求助] 真空环境下氧化铝生长速度

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实习生

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发表于 2019-11-12 22:42:47 | 显示全部楼层 |阅读模式
如题,求大神解答下,在真空为1.0E-7torr压力下,氧化铝的生长速度。
溅射机台在idle多久就必须做condition,不做有什么影响。


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实习生

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 楼主| 发表于 2019-11-14 15:56:58 | 显示全部楼层
没有大神指教下么
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