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[原创] MEMS检测新技术——数字全息实时测量运动与三维形貌

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发表于 2017-11-7 10:05:19 | 显示全部楼层 |阅读模式
数字全息技术离面运动的测量达到了MEMS激光测振仪的精度,而面内运动精度达到了1纳米。可以测量实时形貌变化、运动参数(xyz振幅、位移、频率响应等)


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