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[求助] 蓝膜刺穿问题

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发表于 2017-9-4 16:15:29 | 显示全部楼层 |阅读模式
请问各位大神,Die Size和Die Height在多大时 允许有刺穿蓝膜的情况发生?
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发表于 2017-9-8 08:12:24 | 显示全部楼层
没看懂,理论上Die Size和Die Height多大,切割时膜都不应该切穿。
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 楼主| 发表于 2017-11-1 09:57:52 | 显示全部楼层
peter 发表于 2017-9-8 08:12
没看懂,理论上Die Size和Die Height多大,切割时膜都不应该切穿。

。。。我所指的是DA工序在顶针把Die顶起来的时候顶针不能把蓝膜刺穿,不是指切割工序。。。
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发表于 2018-7-25 21:48:52 | 显示全部楼层
这不仅跟die size,needle height有关。
如果愿意牺牲UPH,small die也可以做到膜不刺穿。
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发表于 2019-10-24 13:51:26 | 显示全部楼层
顶针顶Die时可以顶穿,但是要看顶穿的图形,防止晶圆背面受伤。
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